ISO等级 | 大于或等于表中所示粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气） | ||||||
序数（N） | 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | 对应传统洁净度分级 |
ISO 1 级 | 10 | 2 | |||||
ISO 2 级 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
ISO 3 级 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1级 | |
ISO 4 级 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | 10级 | |
ISO 5 级 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 百级 |
ISO 6 级 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 千级 |
ISO 7 级 | 352000 | 83200 | 2930 | 万级 | |||
ISO 8 级 | 3520000 | 832000 | 29300 | 10万级 | |||
ISO 9 级 | 35200000 | 8320000 | 293000 | 30万级 | |||
级别 | 粒/m3 | ||||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | 10μm | |
0 | 20 | 6 | (1) | ||||
1 | 250 | 63 | 28 | 10 | |||
2 | 2500 | 625 | 278 | 100 | 25 | ||
3 | 25000 | 6250 | 2778 | 1000 | 250 | 10 | |
4 | 62500 | 27778 | 10000 | 2500 | 100 | 25 | |
5 | 100000 | 25000 | 1000 | 250 | |||
6 | 1000000 | 250000 | 10000 | 2500 | |||
7 | (10000000) | 2500000 | 100000 | 25000 | |||
注：（）内数字供参考 | |||||||
粒径/μ | 个/m3 | |||||||
1级 | 2级 | 3级 | 4级 | 5级 | 6级 | 7级 | 8级 | |
0.1 | 101 | 102 | 103 | 104 | 105 | 106 | 107 | 108 |
0.2 | 2 | 24 | 236 | 2360 | 23600 | _ | _ | _ |
0.3 | 1 | 10 | 101 | 1010 | 10100 | 101000 | 1010000 | 10100000 |
0.5 | (0.35) | (3.5) | 35 | 350 | 3500 | 35000 | 350000 | 3500000 |
5.0 | 29 | 290 | 2900 | 29000 | ||||
粒径范围/μm | 0.1~0.3 | 0.1~0.5 | 0.1~5.0 | 0.3~5.0 | ||||