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苏州宏远净化技术有限公司
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洁净等级标准

2018-11-19
ISO14644-1和GB50073-2001的空气洁净度级别
ISO等级
大于或等于表中所示粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气)
序数(N)

0.1μm

0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
对应传统洁净度分级
ISO 1 级
10
2
ISO 2 级
100
24
10
4
ISO 3 级
1000
237
102
35
8
1级
ISO 4 级
10000
2370
1020
352
83
10级
ISO 5 级
100000
23700
10200
3520
832
29
百级
ISO 6 级
1000000
237000
102000
35200
8320
293
千级
ISO 7 级
352000
83200
2930
万级
ISO 8 级
3520000
832000
29300
10万级
ISO 9 级
35200000
8320000
293000
30万级

欧洲洁净度级别草案CEN/TC243
级别
粒/m3
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
10μm
0
20
6
(1)
1
250
63
28
10
2
2500
625
278
100
25
3
25000
6250
2778
1000
250
10
4
62500
27778
10000
2500
100
25
5
100000
25000
1000
250
6
1000000
250000
10000
2500
7
(10000000)
2500000
100000
25000
注:()内数字供参考

日本洁净度级别(JIS-9920)
粒径/μ
个/m3
1级
2级
3级
4级
5级
6级
7级
8级
0.1
101
102
103
104
105
106
107
108
0.2
2
24
236
2360
23600
_
_
_
0.3
1
10
101
1010
10100
101000
1010000
10100000
0.5
(0.35)
(3.5)
35
350
3500
35000
350000
3500000
5.0
29
290
2900
29000
粒径范围/μm
0.1~0.3
0.1~0.5
0.1~5.0
0.3~5.0

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